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Chiller
產品簡介：

Chiller主要用于半導體制程中對多路反應腔室的精準控溫，裝置由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成，采用先進的控制算法，提高了chiller的穩定性、控溫精度和反應速度。在帶負載的情況下控溫精度可達±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩定性。

產品型號：

更新時間：2025-08-12

廠商性質：生產廠家

訪 問 量 ：2132

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產品介紹
　　一、產品概述：
　　半導體Chiller主要用于半導體制程中對多路反應腔室的精準控溫，裝置由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成，采用先進的控制算法，提高了chiller的穩定性、控溫精度和反應速度。在帶負載的情況下控溫精度可達±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩定性。
　　半導體chiller由制冷，加熱單元，循環，控制系統組成，全密封結構對環境友好，產品系統多，控溫范圍廣，智能化控制軟件，加熱制冷速度快。
 
　　二、產品分為： 
　　1.單通道系列
　　2.雙通道系列
　　3.三通道系統

 

　　三、半導體Chiller細節展示：

  

  

　　四、半導體chiller參數說明：
  名稱 參數 名稱 參數 名稱 參數
1 單通道系列 -20℃~+80℃ 雙通道系列 -45℃~+40℃ 三通道系列 -20℃~+50℃
2 溫度范圍 ±0.1℃ 溫度范圍 ±0.2℃ 溫度范圍 ±0.1℃
3 精度 2kw@-10℃ 精度 11kw@-20℃/5kw@-40℃ 精度 15kw@-10℃
4 冷卻能力 3kw 冷卻能力 2kw 冷卻能力 2kw
5 加熱能力 20LPM@0.6MPa 加熱能力 17LPM@0.6MPa 加熱能力 30LPM@0.85MPa
6 流量 Rc3/4" 流量 Rc3/4" 流量 Rc3/4"
7 端口大小 15~20°C 端口大小 15~20°C 端口大小 15~20°C
8 溫度范圍 15LPM 溫度范圍 30LPM 溫度范圍 30LPM
9 所需流量 Rc1/2" 所需流量 Rc1/2" 所需流量 Rc3/4"*2
10 端口大小 0.3~0.7MPa 端口大小 0.3~0.7MPa 端口大小 0.3~0.7MPa
11 進口壓力  / 進口壓力  / 進口壓力  /

五、產品圖片展示：

 　　六、我們的優勢：

   

 

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