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半導(dǎo)體溫控設(shè)備Chiller
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

Chiller半導(dǎo)體溫控設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)多路反應(yīng)腔室的精準(zhǔn)控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成，采用先進(jìn)的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-08-12

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪 問(wèn) 量 ：5599

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產(chǎn)品介紹

Chiller半導(dǎo)體溫控設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)多路反應(yīng)腔室的精準(zhǔn)控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成，采用先進(jìn)的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。在帶負(fù)載的情況下控溫精度可達(dá)±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩(wěn)定性。

 

半導(dǎo)體溫控設(shè)備chiller由制冷，加熱單元，循環(huán)，控制系統(tǒng)組成，全密封結(jié)構(gòu)對(duì)環(huán)境友好，產(chǎn)品系統(tǒng)多，控溫范圍廣，智能化控制軟件，加熱制冷速度快。

 

產(chǎn)品分為：

1.單通道系列

2.雙通道系列

3.三通道系統(tǒng)

 

產(chǎn)品細(xì)節(jié)：

 


半導(dǎo)體溫控設(shè)備chiller參數(shù)說(shuō)明：

  名稱 參數(shù) 名稱 參數(shù) 名稱 參數(shù)
1 單通道系列 -20℃~+80℃ 雙通道系列 -45℃~+40℃ 三通道系列 -20℃~+50℃
2 溫度范圍 ±0.1℃ 溫度范圍 ±0.2℃ 溫度范圍 ±0.1℃
3 精度 2kw@-10℃ 精度 11kw@-20℃/5kw@-40℃ 精度 15kw@-10℃
4 冷卻能力 3kw 冷卻能力 2kw 冷卻能力 2kw
5 加熱能力 20LPM@0.6MPa 加熱能力 17LPM@0.6MPa 加熱能力 30LPM@0.85MPa
6 流量 Rc3/4" 流量 Rc3/4" 流量 Rc3/4"
7 端口大小 15~20°C 端口大小 15~20°C 端口大小 15~20°C
8 溫度范圍 15LPM 溫度范圍 30LPM 溫度范圍 30LPM
9 所需流量 Rc1/2" 所需流量 Rc1/2" 所需流量 Rc3/4"*2
10 端口大小 0.3~0.7MPa 端口大小 0.3~0.7MPa 端口大小 0.3~0.7MPa
11 進(jìn)口壓力  / 進(jìn)口壓力  / 進(jìn)口壓力  /

我們的優(yōu)勢(shì)：

 

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